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6月28日,荷兰光刻机巨头ASML官网宣布,与比利时微电子研究中心(Imec)签署谅解备忘录,将在下一阶段加强合作,在IMEC开发一个最先进的高数值孔径(High-NA)极紫外光刻试验线。谅解备忘录包括在比利时鲁汶的Imec中试线安装和服务ASML的全套先进光刻和计量设备。
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